epitaxy

• monokristal wafer üzerinde monokristal incefilm(bkz: thinfilm) büyütme işi.
• (bkz: mocvd)
• epitaksi kelime anlamı olarak kristal yapısının uyumlu olduğu bir malzeme üstünde tek kristal olarak büyütmeye verilen isimdir. uyum sayesinde büyüyen malzeme hata içermez, sürünmenin negatif özelliklerinden etkilenmez, özellikle elektronik malzemelerin olmazsa olmasıdır, teknolojik olarak kimyasal buhar biriktime ve özellikle moleküler ışın epitaksi metodlarıyla üretilebilir.
  
  epitaksiyel büyüme 2 çeşittir, 1. si homoepitaksiyel büyüme; bu, yapıda aynı malzeme üstünde büyüme olduğunu ifade eder, diğeri ise heteroepitaksiyel büyümedir, heteroepitakside ise büyüme farklı bir malzeme üstünde gerçekleşir, yani latis paramtreleri arasında birebir uyum yoktur ve çeşitli gerilmeler oluşur.
• insan gibidir; homosu ve heterosu vardir.
  
  (bkz: homoepitaxy)
  (bkz: heteroepitaxy)